电子探针主要包括电子光学系统（镜管），X射线光谱仪和信息记录显示系统，如下图所示：电子探针的原理是注入样品表面聚焦电子束。
激发样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或特征能量），以了解样品中包含的元素类型（定性分析），并分析X射线的强度知道样本中相应元素的内容。
多少（定量分析）。
1.样品制备方便，原始样品不会丢失。
2.将分析组分与微观结构的有机观察结合起来。
3.分析灵敏度达到10-4至10-6克，绝对量可达10-15至10-18克。
4.分析区域可以小到几微米，提供元素微观尺度上元素不均匀的信息。
1.金属材料的相分析，成分分析和包合成分鉴定。
2.鉴定金银首饰，宝石首饰，考古文物鉴定，刑事侦查鉴定。
3.分析无机或有机固体材料，如聚合物，陶瓷，混凝土，生物，矿物和纤维。
它可以分析固体材料的表面涂层和涂层，如金属化薄膜表面涂层的检测。
5.定性和定量分析材料表面上的微区组分，以及材料表面元素的表面，线和点分布分析。
电子探针可以对样品中微小区域（微米）的化学成分进行定性或定量分析。
可以执行点线扫描（以获得层组分分布信息）和表面扫描分析（以获得组分表面分布图像）。
批量（预设9999个测试点）定量分析也可以自动进行。
电子探针技术具有操作快速简便的优点（化学分析方法相对复杂），实验结果直观，对分析过程无损伤，测量精度高。
它越来越多地应用于冶金，地质，电子材料，生物，医学，考古等领域，是矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。
