ICP-MS中使用的电离源是电感耦合等离子体（ICP），与原子发射光谱法中使用的ICP相同。主体是一个火炬，由三层石英套管组成，负载线圈缠绕在火炬的上端。三层管从内向外输送载气，辅助气体和冷却气体，负载线圈通过高频电源连接以产生垂直于线圈平面的磁场。如果氩气被高频装置电离，则氩离子和电子与其他氩原子碰撞，在电磁场的作用下产生更多的离子和电子，形成涡流。强大的电流会产生高温，这会立即导致氩气形成温度高达10,000k的等离子炬。通过载气将样品带入等离子炬中，将其蒸发，分解，激发并电离。辅助气体用于维持等离子体，所需的量约为1L / min。冷却气体沿切线方向引入外管，产生螺旋气流，使负载盘管外管内壁冷却，冷却气体流量为10-15L /分钟。最常见的注射方法是使用同心或直角气动雾化器来产生气溶胶，并将炬喷射到载气载体下方。样品注入体积约为1mL / min，通过蠕动泵送至雾化。该设备。在负载线圈上方约10mm的温度下，焊炬温度约为8000K。在如此高的温度下，具有低于7eV的电离能的元素被完全电离，并且具有电离的元素的电离能量低于10.5 eV的能量大于20％。由于最重要的元素具有小于10.5eV的电离能，它们具有高灵敏度，并且可以检测到一些具有较高电离能的元素，例如C，O，Cl和Br，但灵敏度低。 ICP-MS由三部分组成：ICP炬，接口设备和质谱仪;如果它具有良好的工作条件，则必须设定每个部件的工作条件。 ICP主要包括ICP功率，载气，辅助气体和冷却气体流量。样品提升量等，ICP功率一般在1KW左右，冷却气体流量为15L / min，辅助气体流量和载气流量约为1L / min，并调节载气流量会影响测量灵敏度。样品升力为1毫升/分钟。由接口装置ICP产生的离子通过接口装置进入质谱仪。接口设备的主要参数是采样深度，即采样锥与割炬之间的距离。应调整两个锥形孔的距离和中心，并调整镜头电压。使离子具有良好的焦点。质谱仪主要用于设定扫描范围。为了减少空气中组分的干扰，通常需要避免收集N2，O2，Ar等离子体。对于定量分析，质谱扫描应选择质量而不干扰其他元素和氧化物。还具有合适的乘法器电压。事实上，在每次分析之前，仪器的整体性能需要使用多元素标准解决方案进行测试。如果仪器的灵敏度达到预期水平，则不再需要调整仪器。如果灵敏度低，则需要调整载气流量。孔位和透镜电压等参数。